EDX-LE能量色散X射線(xiàn)分析是x射線(xiàn)能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線(xiàn)，不同元素發(fā)射出來(lái)的特征x射線(xiàn)波長(zhǎng)不同，能量也不同。利用x射線(xiàn)能量不同而展譜一般稱(chēng)為x射線(xiàn)能譜分析或能量色散x射線(xiàn)分析，所用設(shè)備通常稱(chēng)為能量色散譜儀。

 

　　EDX-LE能量色散X射線(xiàn)分析主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線(xiàn)按能量展i}}Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線(xiàn)波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　X射線(xiàn)熒光分析技術(shù)作為一種快速分析手段，為我國(guó)的相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時(shí)的，檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對(duì)于其他分析方法，XRF具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理、快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類(lèi)相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)作為過(guò)程控制和檢測(cè)使用。

 

　　由于波長(zhǎng)色散和能量色散類(lèi)型X熒光分析儀各自的技術(shù)特點(diǎn)，兩種類(lèi)型儀器所側(cè)重的應(yīng)用方案也不盡相同；波長(zhǎng)色散X熒光分析儀具有較高的測(cè)量精度，但同時(shí)需要對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單處理，更適用于進(jìn)廠(chǎng)原材料、半成品、成品的準(zhǔn)確檢測(cè)和質(zhì)量控制。

 

　　而EDX-LE能量色散X射線(xiàn)分析雖然測(cè)量精度稍差，但具有快速、直接測(cè)量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線(xiàn)上用于各種部件、電子元器件的檢測(cè)。