島津能量色散X射線分析是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級x射線，不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。能量分辨率是島津能量色散X射線分析的主要指標，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越好。

 

　　主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i}}Er7，5的分辨率遠不如波長色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點，和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍，如果進行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　能量色散型儀器最大的優(yōu)勢在于：可以對樣品不作特別復雜的處理而直接進行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過程控制中；具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測。

 

　　而波長色散X熒光分析儀需要對被測儀量樣品進行簡單的處理；對固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑，對粉末和其他樣品可以采用磨細后進行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場上很容易找到。

 

　　但需要強調(diào)指出的是：從熒光理論上，被測量樣品的預先處理是必須的，對于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術(shù)手段進行校正來滿足實際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準確度作為代價的。