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EDX-7000/8000能量色散X射線分析在晶體材料上的應(yīng)用

更新時(shí)間:2022-05-11      點(diǎn)擊次數(shù):1039
  EDX-7000/8000能量色散X射線分析是利用衍射原理,準(zhǔn)確的測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,準(zhǔn)確的進(jìn)行物相分析,定性分析,定量分析。廣泛應(yīng)用于冶金,石油,化工,科研,航空航天,教學(xué),材料生產(chǎn)等領(lǐng)域。
 
  EDX-7000/8000能量色散X射線分析可以通過延長(zhǎng)測(cè)定時(shí)間增加X射線熒光的計(jì)數(shù)從而提高精度(重現(xiàn)性)。搭載高計(jì)數(shù)率SDD檢測(cè)器的EDX-7000/8000與以往型號(hào)相比,能夠在更短的時(shí)間內(nèi)保證分析精度。
 
  能量色散X射線光譜(EDX)通常借助電子顯微鏡使用對(duì)樣品實(shí)施微區(qū)成分分析,依據(jù)元素特征X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,來檢測(cè)樣品中不同元素的相對(duì)含量和分布情況。EDX的探測(cè)效率高,操作簡(jiǎn)單,而且對(duì)樣品表面沒有特殊要求。
 
  但EDX的分辨率較低,并且只能分析原子序數(shù)大于11的元素,同時(shí)常用的Si探頭要保持在低溫狀態(tài)下工作,操作上有所不便。EELS相比EDX對(duì)輕元素有更好的分辨效果,能量分辨率高出1~2個(gè)量級(jí),空間分辨能力由于伴隨著透射電鏡技術(shù),也可以達(dá)到10^-10m的量級(jí),同時(shí)可以用于測(cè)試薄膜厚度,有一定時(shí)間分辨力。
 
  對(duì)于晶體材料,當(dāng)待測(cè)晶體與入射束呈不同角度時(shí),那些滿足布拉格衍射的晶面就會(huì)被檢測(cè)出來,體現(xiàn)在XRD圖譜上就是具有不同的衍射強(qiáng)度的衍射峰。對(duì)于非晶體材料,由于其結(jié)構(gòu)不存在晶體結(jié)構(gòu)中原子排列的長(zhǎng)程有序,只是在幾個(gè)原子范圍內(nèi)存在著短程有序。故非晶體材料的XRD圖譜為一些漫散射饅頭峰。

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